人員の除染および物資移送

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HEPA/ULPAフィルター

ミディアムエフィシエンシー・フィルター（MEフィルター）: 中程度のサイズの粉じん粒子を捕らえ、さらに空気を清浄化する二次的な中間濾過。ハイエフィシエンシー・フィルターにとって不可欠な予備フィルターです。 ハイエフィシエンシー・パーティクル・エア（HEPA）フィルター
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ECモーターFFU

クリーンルーム天井専用に設計された空気供給・浄化設備で、ファンと高効率フィルターを一体化しています。
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