半導体マイクロエレクトロニクス
ソリューション
半導体マイクロエレクトロニクス
半導体製造向け超純粋クリーンルームソリューション
業界の課題：
AMC制御：大気中分子汚染に対する極めて高い敏感さ。微振動：高精度リソグラフィーにはVC-Dレベルの振動制御が不可欠。高エネルギー消費：ISO 4～5環境を維持するため、HVACコストが膨大になる。
UPTINGの解決策：
当社はISOクラス4～5のターンキーファシリティを提供します。当社のソリューションではPTFE ULPAフィルターと高度な乾式冷却コイル（DC）システムを採用し、0.45±0.1m/sの精密な空気流と厳格なAMC制御を実現します。また、ECモーター搭載FFUにより、年間30%以上のエネルギー節約が可能です。
イノライト：中国およびタイで、グローバルな800G/1.6T光モジュール生産向けに、合計50,000m²を超えるISOクラス6～7クリーンルームを納入しました。
コアエナジー：先進的なGaN半導体ウェハー製造向けに、12,000m²の超クリーンFAB（ISO 4～6）を建設しました。
ジェンテック：半導体プロセス装置向けに、20,000m²のターンキーエPCプロジェクトを完了しました。
