Semiconductor Microelectronics
Solutions
Semiconductor Microelectronics
Solusi Ruang Bersih Ultra-Murni untuk Manufaktur Semikonduktor
Tantangan Industri:
Kontrol AMC: Sensitivitas ekstrem terhadap Kontaminasi Molekuler yang Terbawa Udara. Getaran Mikro: Litografi presisi tinggi memerlukan kontrol getaran tingkat VC-D. Konsumsi Energi Tinggi: Memelihara lingkungan ISO 4-5 menyebabkan biaya HVAC yang besar.
Solusi UPTING:
Kami menyediakan fasilitas turnkey kelas ISO 4-5. Solusi kami menggunakan filter PTFE ULPA dan sistem koil pendingin kering (DC) canggih untuk memastikan aliran udara presisi 0,45±0,1 m/s serta kontrol AMC yang ketat, sementara FFU bermotor EC kami menghemat lebih dari 301 TP3T dalam konsumsi energi.
Innolight: Telah mengirimkan lebih dari 50.000 m² ruang bersih kelas ISO 6–7 untuk produksi modul optik 800G/1,6T global di seluruh Tiongkok dan Thailand.
CoreEnergy: Membangun FAB ultra-bersih seluas 12.000 m² (ISO 4–6) untuk manufaktur wafer semikonduktor GaN canggih.
Gentech: Menyelesaikan proyek EPC turnkey seluas 20.000 m² untuk peralatan proses semikonduktor.
FAQ tentang Ruang Bersih Mikroelektronika Semikonduktor
T: Bagaimana Anda mengelola Kontaminasi Molekuler yang Terbawa Udara (AMC) di ruang bersih Anda?
J: Kami mengintegrasikan sistem koil pendingin kering (DC) canggih dan filter kimia khusus bersama unit filtrasi PTFE ULPA kami. Ini memastikan kontrol presisi terhadap partikel maupun AMC, yang sangat penting untuk proses wafer dan litografi.
T: Apakah plafon modular Anda dapat menopang peralatan berat sekaligus menjaga standar getaran mikro?
J: Ya. Kami menggunakan grid plafon tipe tahan beban yang dapat dilalui pejalan kaki, mampu menopang susunan FFU padat dan sistem penanganan material otomatis (AMHS). Solusi lantai kami juga memenuhi standar getaran mikro VC-D yang ketat (≤25μm/s).
T: Seberapa cepat Anda dapat meningkatkan FAB yang sudah ada tanpa mengganggu operasi saat ini?
J: Sistem modular "Clean Cube" kami diproduksi terlebih dahulu di luar lokasi. Perakitan dry-joint plug-and-play ini meminimalkan debu dan secara signifikan mengurangi waktu pemasangan di lokasi, sehingga memungkinkan peningkatan cepat dengan gangguan minimal terhadap jalur produksi aktif Anda.
Proyek Terkait
A leading provider of specialised gas equipment for the semiconductor industry – Zhengfan Technology
A leading manufacturer of power chips such as IGBTs—Nenghua Microelectronics
The world leader in optical modules – Zhongji Xuchuang
