Halfgeleidermicro-elektronica
Oplossingen
Halfgeleidermicro-elektronica
Ultrapure cleanroomoplossingen voor halfgeleiderfabricage
Uitdagingen in de industrie:
AMC-controle: Extreem gevoelig voor moleculaire verontreiniging in de lucht. Microtrillingen: Hoge precisie lithografie vereist trillingscontrole van VC-D-niveau. Hoge energieverbruik: Het handhaven van ISO 4-5-omgevingen leidt tot enorme HVAC-kosten.
De oplossing van UPTING:
We leveren sleutelklare faciliteiten van ISO-klasse 4-5. Onze oplossingen maken gebruik van PTFE ULPA-filters en geavanceerde droge koelbuissystemen (DC) om een nauwkeurige luchthoeveelheid van 0,45 ± 0,1 m/s en strikte AMC-controle te garanderen, terwijl onze EC-motor FFU's meer dan 301 TP3T aan energie besparen.
Innolight: Meer dan 50.000 m² ISO-klasse 6–7 cleanrooms geleverd voor wereldwijde productie van 800G/1,6T optische modules in China en Thailand.
CoreEnergy: Een ultra-schone FAB van 12.000 m² gebouwd (ISO 4–6) voor de geavanceerde fabricage van GaN-halfgeleiderwafers.
Gentech: Een turnkey EPC-project van 20.000 m² voltooid voor halfgeleiderprocesapparatuur.
Veelgestelde vragen over cleanrooms voor halfgeleidermicro-elektronica
V: Hoe beheert u moleculaire verontreiniging in de lucht (AMC) in uw cleanrooms?
A: We integreren geavanceerde droge koelbuissystemen (DC) en gespecialiseerde chemische filters naast onze PTFE ULPA-filtratieunits. Dit zorgt voor nauwkeurige controle over zowel deeltjes als AMC, wat cruciaal is voor wafel- en lithografieprocessen.
V: Kunnen uw modulaire plafonds zware apparatuur dragen en de microtrillingsnormen handhaven?
A: Ja. We gebruiken zwaar belaste loopbare plafondroosters die dichte FFU-matrices en geautomatiseerde materiaalbehandelingssystemen (AMHS) kunnen ondersteunen. Onze vloeroplossingen voldoen ook aan de strenge VC-D-microtrillingsnormen (≤25 μm/s).
V: Hoe snel kunt u een bestaande FAB upgraden zonder de huidige activiteiten te verstoren?
A: Ons modulaire "Clean Cube"-systeem wordt off-site geprefabriceerd. Deze droge verbinding, plug-and-play-assemblage minimaliseert stof en verkort de installatietijd ter plaatse aanzienlijk, waardoor snelle upgrades mogelijk zijn met minimale interferentie voor uw actieve productielijnen.
Gerelateerde projecten
A leading provider of specialised gas equipment for the semiconductor industry – Zhengfan Technology
Een toonaangevende fabrikant van vermogenschips zoals IGBT's—Nenghua Microelectronics
De wereldleider in optische modules – Zhongji Xuchuang
