반도체 마이크로일렉트로닉스
솔루션
반도체 마이크로일렉트로닉스
반도체 제조를 위한 초순수 클린룸 솔루션
산업 과제:
AMC 제어: 공기 중 분자 오염에 대한 극도의 민감성. 미세진동: 고정밀 리소그래피를 위해서는 VC-D 수준의 진동 제어가 필요합니다. 높은 에너지 소비: ISO 4-5 환경을 유지하려면 대규모 HVAC 비용이 발생합니다.
UPTING의 솔루션:
저희는 ISO 클래스 4-5 턴키 설비를 제공합니다. 당사의 솔루션은 PTFE ULPA 필터와 첨단 건식 냉각 코일(DC) 시스템을 활용해 정밀한 0.45±0.1m/s의 공기 흐름과 엄격한 AMC 제어를 보장하며, EC 모터 FFU를 사용해 에너지 비용을 30% 이상 절약합니다.
인노라이트: 중국과 태국 전역에서 글로벌 800G/1.6T 광모듈 생산을 위해 ISO 클래스 6–7 클린룸 50,000m² 이상을 공급했습니다.
코어에너지: 첨단 GaN 반도체 웨이퍼 제조를 위한 12,000m² 초청정 FAB(ISO 4–6)을 구축했습니다.
겐테크: 반도체 공정 장비를 위한 20,000m² 턴키 EPC 프로젝트를 완료했습니다.
